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APPLICABLE / 適用制程 : MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 : EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
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幻燈片
EcoEpi
EcoEpi
SERIES / 系列： Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程： MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
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