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SERIES / 系列 : Burn 燃燒系列
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
 
CAPACITY / 處理能力
 
EcoBurn-Twin
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-Twin
EcoBurn
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-500
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